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基于c面蓝宝石衬底上Ga极性黄光LED结构及其制作方法

3352018/08/13
基本信息
  • 成果类型 高等院校
  • 委托机构 西安电子科技大学
  • 成果持有方 西安电子科技大学
  • 行业领域 微电子
  • 项目名称 基于c面蓝宝石衬底上Ga极性黄光LED结构及其制作方法
  • 知识产权 发明专利
  • 项目简介 本发明公开了一种基于c面蓝宝石衬底上Ga极性黄光LED材料及其制作方法。其生长步骤是:1)对c面蓝宝石进行热处理;2)在热处理后衬底上生长厚度为10‑200nm的低温成核层;3)在成核层上生长厚度为0.2‑100μm,Si掺杂浓度为5×1017cm‑3~5×1019cm‑3,C掺杂浓度为1×1017cm‑3~4×1019cm‑3的高温n型GaN有源层;4)在有源层上生长厚度为5‑200nm的AlGaN阻挡层;5)在阻挡层上生长厚度为0.01‑10μm,Mg掺杂浓度为1×1017cm‑3~5×1019cm‑3的高温p型GaN层。本发明工艺简单,成本低,可用于制作Ga极性GaN黄光发光二极管。
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交易信息
  • 意向交易额 面议
  • 挂牌时间 2018/03/06
  • 委托机构 西安电子科技大学
  • 联系人姓名 王小刚
  • 联系人电话 15802954800
  • 联系人邮箱 745490733@qq.com
  • 分享至:

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