您当前的位置：成果库 > 基于相移量机电耦合的分布式MEMS移相器工作电压的调整方法
316
2018/08/17
咨询成果
发布成果基本信息
- 成果类型 高等院校
- 委托机构 西安电子科技大学
- 成果持有方 西安电子科技大学
- 行业领域 微电子
- 项目名称 基于相移量机电耦合的分布式MEMS移相器工作电压的调整方法
- 知识产权 发明专利
- 项目简介 本发明公开了一种基于相移量机电耦合的分布式MEMS移相器工作电压的调整方法，包括确定分布式MEMS移相器的结构参数、材料属性和电磁工作参数；确定工作电压标准值V0和相移量标准值Δφ0；施加2V0的工作电压，测量M个MEMS桥中相移量Δφi；比较相移量测量值Δφi与标准值Δφ0；当相移量测量值Δφi>标准值Δφ0，得MEMS桥有向上的高度误差，计算等效电路参数和工作电压调整量；当相移量测量值Δφi≤标准值Δφ0，得MEMS桥向下高度误差或无误差，计算等效电路参数和高度误差值，计算工作电压的调整量；判断是否已对全部计算工作电压调整量；重新施加到相应的MEMS桥上，测量分布式MEMS移相器的整体相移量；判断调整工作电压后的分布式MEMS移相器电性能是否满足指标要求。本方法为实际工作的可靠性提供了理论指导。
交易信息
- 意向交易额 面议
- 挂牌时间 2018/01/16
- 委托机构 西安电子科技大学
- 联系人姓名 王小刚
- 联系人电话 15802954800
- 联系人邮箱 745490733@qq.com
- 分享至：
