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基本信息
- 需求标题 SiC外延片产业化技术开发
- 需求主体 企业用户
- 行业领域 其他电子信息
- 需求介绍 希望提供:SiC外延生长过程中缺陷形成机理方面的研究;SiC外延生长过程中缺陷抑制技术的开发。希望最终实现:1.针对4英寸、6英寸4H-SiC外延生长,探索研究三角形缺陷、层错等缺陷的形成机制;2.开发出低缺陷密度的高质量4英寸、6英寸4H-SiC外延片,实现表面三角形缺陷密度小于0.2 cm-2,层错密度小于0.5 cm-2。
交易信息
- 项目总投资 面议
- 交易方式 其他
- 截止日期 2021/04/15
- 使用区域 陕西省-西安市-新城区
- 联系人姓名 西安电子科技大学
- 联系人电话 15802954800
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